Filem piezoelektrik digunakan secara meluas kerana prestasinya yang sangat baik. Filem tebal piezoelektrik boleh digunakan untuk mengeluarkan pelbagai peranti mikro, seperti pam mikro, motor ultrasonik, resonator, penderia filem tebal piroelektrik, penggerak filem tebal, pikap tenaga mikro, dll. 1. Hidrof