PZT piezo keramisk membran

Selv om den fylte isolasjonsoljen er overflaten til PZT ultralyd piezo plate kvarts og poren ble fjernet etter ekstraksjon, den hydrofobe isolerende oljekomponenten festet seg til overflaten og poren, og kontaktvinkelen til pickup piezo-svingeren reduserte ikke signifikant. Når plasmaetsingstiden øker, øker hydrofilisiteten til den piezokeramiske membranen, piezokeramisk fabrikasjon indikerer at antallet hydrofobe grupper er festet til overflaten av den piezokeramiske membranen gradvis avtar. Når etsetiden er 4 min, vil hydrofilisiteten til piezoelektrisk trykksensor er i utgangspunktet gjenopprettet og kontaktvinkelen er 16 °. Fordi plasmaetsingen bare kan håndtere overflategruppene til membranen, de hydrofobe gruppene av PZT-materiale piezokrystall tilstede i porene forhindrer vanndråpene fra å infiltrere porene. Massen av PZT keramisk membran oppnådd er 4 minutter etter upolarisert, pzt-materialstresssensor er polarisert, ekstrahert og plasma-etset, resonansamplituden ved 20 V AC, og permeabiliteten til rent vann er på 0,05 MPa, var lik resultatene av nitrogenpermeasjonshastighetsmålingsresultater. min etter at nitrogenpermeabiliteten kan gjenopprettes til , ren vannpermeabilitet returnert til MPa-1, er resonanssignalet til koniske piezoelektriske transdusere 34,8 mV. Resonanskurvene til PZT-keramikk etter polarisering og ekstraksjon er gitt. Det ekstraherte porøse PZT piezokeramiske trådledningsmembranresonanssignalet er 34,8 mV, noe lavere enn det for PZT-keramiske membranen etter polarisasjonen, som er forårsaket av romspredningen av ultralydbølgen generert av vibrasjonen i porene til den ekstraherte porøse PZT-keramiske membranen. Ultralydtapet i den porøse PZT-keramiske membranen kan kompenseres for ved å øke AC-spenningen over den PZT-keramiske membranen.