غشای پیزو سرامیکی PZT

اگرچه روغن عایق پر شده سطح PZT است کوارتز صفحه پیزو اولتراسونیک و منافذ پس از استخراج حذف شد، جزء روغن عایق آبگریز است که به سطح و منافذ چسبیده و زاویه تماس مبدل پیزو پیکاپ کاهش معنی داری نداشت. با افزایش زمان اچینگ پلاسما، آب دوستی غشای سرامیکی پیزو افزایش می یابد. ساخت پیزو سرامیک نشان می دهد که تعداد گروه های آبگریز متصل به سطح غشای سرامیکی پیزو به تدریج کاهش می یابد. هنگامی که زمان اچ 4 دقیقه است، آب دوستی سنسور فشار پیزوالکتریک اساساً بازسازی شده و زاویه تماس 16 درجه است. از آنجا که اچ پلاسما فقط می تواند با گروه های سطحی غشاء مقابله کند، گروه های آبگریز کریستال پیزو ماده PZT موجود در منافذ مانع از نفوذ قطرات آب به منافذ می شود. جرم غشاء سرامیکی PZT به دست آمده در 4 دقیقه پس از پلاریزه نشدن، حسگر تنش مواد pzt قطبی شده، استخراج و پلاسما اچ می شود، دامنه تشدید در 20 ولت AC، و نفوذپذیری آب خالص در 0.05 مگاپاسکال است که مشابه نتایج اندازه گیری میزان نفوذ نیتروژن P یا اندازه گیری پس از غشاء غشاء است. و سپس اچ پلاسما 4 دقیقه پس از بازیابی نفوذپذیری نیتروژن، نفوذپذیری آب خالص به MPa-1 بازگشت، سیگنال رزونانس مبدلهای پیزوالکتریک مخروطی 34.8 میلی ولت است. منحنی های رزونانس سرامیک PZT پس از پلاریزاسیون و استخراج داده شده است. سیگنال رزونانس غشایی سیم پیزو سرامیکی متخلخل استخراج شده PZT 34.8 میلی ولت است، که کمی کمتر از غشای سرامیکی PZT پس از قطبش است، که ناشی از اتلاف فضای موج اولتراسونیک تولید شده توسط ارتعاش در منافذ غشای سرامیکی متخلخل استخراج شده PZT است. تلفات اولتراسونیک در غشای سرامیکی متخلخل PZT را می توان با افزایش ولتاژ AC در سراسر غشای سرامیکی PZT جبران کرد.