PZT pietsokeraaminen kalvo

Vaikka eristävä öljy on täytetty, on PZT:n pinta ultraääni pietsolevykvartsi ja huokoset poistettiin uuton jälkeen, hydrofobinen on eristävä öljykomponentti kiinnittynyt pintaan ja huokosiin ja kosketuskulma pickup pietsokanturi ei vähentynyt merkittävästi. Plasman etsausajan pidentyessä pietsokeraamisen kalvon hydrofiilisyys kasvaa, pietsokeraaminen valmistus osoittaa, että pietsokeraamisen kalvon pintaan kiinnittyneiden hydrofobisten ryhmien määrä vähenee vähitellen. Kun etsausaika on 4 minuuttia, hydrofiilisyys pietsosähköinen paineanturi on periaatteessa palautettu ja kosketuskulma on 16 °. Koska plasmaetsaus voi käsitellä vain kalvon pintaryhmiä, hydrofobisia ryhmiä PZT-materiaalin pietsokide estää vesipisaroita tunkeutumasta huokosiin. Saadun PZT-keraamikalvon massa on 4 minuuttia polaroimattoman, pzt-materiaalin jännitysanturi polarisoinnin, uuton ja plasmaetsauksen jälkeen, resonanssiamplitudi 20 V AC:ssa ja puhtaan veden läpäisevyys 0,05 MPa:ssa olivat samanlaiset kuin typen läpäisynopeuden mittaustulokset. Huokoinen PZT min-keramiikkauuttokalvo ja plasmaetaanikeramiikkauutto4 typen läpäisevyys voidaan palauttaa arvoon , puhtaan veden läpäisevyys palautetaan MPa-1:ksi, kartiomaisten pietsosähköisten muuntimien resonanssisignaali on 34,8 mV. Huokosissa oleva PZT-keramiikan resonanssikäyrät polarisaation ja uuton jälkeen on annettu. Uutetun huokoisen PZT-keraamisen pietsokoneulan johdinkalvoresonanssisignaali on 34,8 mV, hieman pienempi kuin PZT-keraamisen kalvon signaali polarisaation jälkeen, mikä johtuu uutetun huokoisen PZT-keraamisen kalvon huokosissa olevan värähtelyn synnyttämän ultraääniaallon hajoamisesta. Huokoisen PZT-keraamikalvon ultraäänihäviö voidaan kompensoida lisäämällä vaihtojännitettä PZT-keraamikalvon yli.