PZT piëzo keramiek membraan

Alhoewel die isolerende olie gevul is die oppervlak van die PZT ultrasoniese piëzo plaat kwarts en die porie is verwyder na ekstraksie, die hidrofobiese is isolerende olie komponent vasgeheg aan die oppervlak en die porie, en die kontak hoek van bakkie piezo transducer het nie betekenisvol afgeneem nie. Soos die plasma-etstyd toeneem, neem die hidrofilisiteit van die piëzo-keramiekmembraan toe, piëzo-keramiekvervaardiging dui daarop dat die aantal hidrofobiese groepe wat aan die oppervlak van die piëzo-keramiekmembraan geheg is, geleidelik afneem. Wanneer die etstyd 4 min is, is die hidrofilisiteit van die piëzo-elektriese druksensor is basies herstel en die kontakhoek is 16 °. Omdat die plasma-ets slegs die oppervlakgroepe van die membraan kan hanteer, kan die hidrofobiese groepe van PZT-materiaal piëzo-kristal wat in die porieë voorkom, verhoed dat die waterdruppels die porieë binnedring. Die massa van PZT keramiekmembraan verkry is by 4 min na ongepolariseerde, pzt materiaal spanning sensor is gepolariseer, onttrek en plasma geëts, die resonante amplitude by 20 V AC, en die deurlaatbaarheid van suiwer water is op 0.05 MPa was soortgelyk aan dié van stikstof permeasie tempo meet resultate. Poreuse ekstra membraan en plasma membraan en dan keramiese membraan min nadat die stikstof deurlaatbaarheid herstel kan word na , suiwer water deurlaatbaarheid teruggekeer na MPa-1, die resonansie sein van koniese piëso-elektriese transduktors is 34,8 mV. Die resonansiekrommes van PZT-keramiek na polarisasie en ekstraksie word gegee. Die onttrek poreuse PZT piezo keramiek draad lei membraan resonansie sein is 34,8 mV, effens laer as dié van die PZT keramiek membraan na die polarisasie, wat veroorsaak word deur die spasie dissipasie van die ultrasoniese golf gegenereer deur die vibrasie in die porieë van die onttrek poreuse PZT keramiek membraan. Die ultrasoniese verlies in die poreuse PZT-keramiekmembraan kan vergoed word deur die AC-spanning oor die PZT-keramiekmembraan te verhoog.