Membran seramik piezo PZT

Walaupun minyak penebat yang diisi adalah permukaan PZT kuarza plat piezo ultrasonik dan liang dikeluarkan selepas pengekstrakan, komponen minyak penebat hidrofobik melekat pada permukaan dan liang, dan sudut sentuhan transduser piezo pikap tidak berkurangan dengan ketara. Apabila masa etsa plasma meningkat, hidrofilik membran seramik piezo meningkat, fabrikasi seramik piezo menunjukkan bahawa bilangan kumpulan hidrofobik yang melekat pada permukaan membran seramik piezo berkurangan secara beransur-ansur. Apabila masa goresan ialah 4 min, hidrofilisiti sensor tekanan piezoelektrik pada asasnya dipulihkan dan sudut sentuhan ialah 16 °. Kerana etsa plasma hanya boleh berurusan dengan kumpulan permukaan membran, kumpulan hidrofobik Kristal piezo bahan PZT yang terdapat dalam pori menghalang titisan air daripada menyusup ke dalam liang. Jisim membran seramik PZT yang diperolehi adalah pada 4 min selepas tidak terkutub, sensor tegasan bahan pzt dikutubkan, diekstrak, dan plasma terukir, amplitud resonan pada 20 V AC, dan kebolehtelapan air tulen adalah pada 0.05 MPa adalah serupa dengan kadar resapan nitrogen dan hasil pengukuran kadar resapan nitrogen. Berliang PZT plasma seramik selepas pengekstrakan seramik plasma. kebolehtelapan boleh dipulihkan kepada , kebolehtelapan air tulen dikembalikan kepada MPa-1, isyarat resonans transduser piezoelektrik kon ialah 34.8 mV. Lengkung resonans seramik PZT selepas polarisasi dan pengekstrakan diberikan. Dawai seramik PZT piezo berliang yang diekstrak membawa isyarat resonans membran adalah 34.8 mV, sedikit lebih rendah daripada membran seramik PZT selepas polarisasi, yang disebabkan oleh pelesapan ruang gelombang ultrasonik yang dihasilkan oleh getaran dalam liang membran seramik PZT berliang yang diekstrak. Kehilangan ultrasonik dalam membran seramik PZT berliang boleh dikompensasikan dengan meningkatkan voltan AC merentasi membran seramik PZT.