П'єзокерамічна мембрана PZT

Хоча ізоляційне масло, заповнене поверхнею PZT Ультразвукова п’єзопластинка кварцу та пори були видалені після екстракції, гідрофобний ізоляційний масляний компонент прилип до поверхні та пори, а кут контакту датчик п'єзоперетворювача істотно не зменшився. Зі збільшенням часу плазмового травлення підвищується гідрофільність п’єзокерамічної мембрани, Виготовлення п’єзокераміки вказує на те, що кількість гідрофобних груп, прикріплених до поверхні п’єзокерамічної мембрани, поступово зменшується. При часу травлення 4 хв гідрофільність о П'єзоелектричний датчик тиску в основному відновлений і контактний кут становить 16 °. Оскільки плазмове травлення може мати справу лише з поверхневими групами мембрани, гідрофобними групами П'єзокристал PZT, присутній у порах, запобігає проникненню крапель води в пори. Маса керамічної мембрани PZT, отримана через 4 хвилини після того, як неполяризований датчик напруги матеріалу PZT поляризований, екстрагований і плазмове травлення, резонансна амплітуда при 20 В змінного струму та проникність чистої води при 0,05 МПа були подібні до результатів вимірювання швидкості проникнення азоту. Пориста керамічна мембрана PZT після екстракції етанолом, а потім плазми травлення через 4 хв після того, як проникність азоту може бути відновлена до , проникність чистої води повернулася до МПа-1, резонансний сигнал конічних п'єзоелектричних перетворювачів становить 34,8 мВ. Наведено резонансні криві кераміки ЦТС після поляризації та екстракції. Екстрагований пористий п’єзокерамічний дріт PZT призводить до резонансного сигналу мембрани 34,8 мВ, що трохи нижче, ніж у керамічної мембрани PZT після поляризації, що спричинено просторовим розсіюванням ультразвукової хвилі, створеної вібрацією в порах екстрагованої пористої керамічної мембрани PZT. Втрати ультразвуку в пористій керамічній мембрані PZT можна компенсувати збільшенням напруги змінного струму на керамічній мембрані PZT.