Yleinen alumiinioksidin pietsokeraamisten substraattien käsittelymenetelmä

    Alumiinioksidi akustisten pietsosähköisten putkien materiaalit ovat vaikeasti käsiteltäviä materiaaleja, joilla on korkea kovuus, hauraus, mukaan lukien hionta, leikkaus, laserlämmitys, korkeapaineinen hiomavesikäsittely ja ultraäänikäsittely.

     Hionta: Alumiinioksidipietsokeramiikalla on korkea kovuus, joten hiomalaikat valmistetaan yleensä timanttimateriaalista. Hiontaprosessissa B4C:tä käytetään hionta-aineena. Tutkimukset ovat osoittaneet, että alumiinioksidin pietsokeramiikan materiaalinpoistomenetelmät hionnan aikana sisältävät pääasiassa rakeiden poiston, haurauden, materiaalin irrottamisen, raerajauksen ja mikromurskaamisen. Ontelot ja halkeamat pinnalla korkeataajuinen pietsosähköinen keramiikka altistetaan neljälle muovaus-, venytys-, kuori- ja halkeiluvaiheelle siten, että koko rake kuoriutuu pois työkappaleen pinnasta ja materiaalin hauras poistoprosessi on valmis. Varsinaisessa hiontaprosessissa koneen ominaisuudet, jauhatusparametrit ja hiontamuoto vaikuttavat hiontaprosessiin.

Työstö: Ottaen huomioon työkalun työstötehokkuuden, alumiinioksidin pietsokeramiikan leikkausprosessi suoritetaan kullalla. Työkalumateriaalina käytetään karkeaa kiveä tai kuutiometriä boorinitridiä. Kun PZT-putki pietsosähköisellä keramiikalla on materiaalin murtolujuus, jotka tärkeimmät tekijät vaikuttavat leikkausvoimaan. Korkean kovuuden vuoksi leikkuureunaa on vaikea leikata sisään, joten säteittäinen voima on paljon suurempi kuin muut komponentit 5-10 kertaa. Työkaluja ovat mekaaninen kuluminen, kemiallinen kuluminen ja raerajavaurioiden ja halkeilujen aiheuttama hilseily. Suuri nopeus, leikkaussyvyys ja suuri syöttönopeus lisäävät työkalua ja työkalun sädettä voidaan kasvattaa kärjen lujuuteen ja lämmönpoistoon.

Laserprosessointi: laserkäsittely on laserpohjaista kosketuksetonta käsittelyenergian käsittelyä, jolloin vältetään materiaalin hauraus. Pintahalkeamia syntyy seksuaalisen poiston aikana. Kun korkeaenerginen laser vaikuttaa työstettävän osan pintaan, lämpöenergia muunnetaan valoenergian vaikutuksesta työkappaleen pinnalla aiheuttaa pienen lämpötilan työkappaleen pinnassa pitkäaaltoisen laserin korkean hyötysuhteen vuoksi. Nostaa ja sulattaa nopeasti työkappaleen materiaalin saavuttaakseen materiaalin vaikutuksen pietsosähköisten keraamisten tuotteiden pinnasta. Koska fokusoitu piste on pieni ja lämpövaikutusalue on pieni, alumiinioksidin pietsokeramiikan tarkka käsittely voidaan saavuttaa.

Ultraäänityöstö: Ultraäänityöstö lisää nestettä tai tahnaa työkalun ja työkappaleen välisen raon väliin. Hiomamateriaalia tärytetään ultraäänellä, jotta hiomahiukkaset iskevät jatkuvasti, puristavat, kiillottavat työstettävän materiaalin pintaa suurella nopeudella, jotta iskeytyvä ja hiottu materiaali valuu ulos, jolloin leikkaustarkoitus virtaa ulos. pietsosähköisiä keraamisia efektejä levitetään työstötyökalun ja työstettävän työkappaleen pintaan. Työkalun ja työstettävän työkappaleen raon välissä on nestemäinen tai tahnamainen hioma-aine. Työstötyökaluun on kohdistettava lievä painetta työstettävän työkappaleen painamiseksi.