Dunnefilmdebietmeters voor hoge temperaturen bestaan doorgaans uit een thermische weerstandslaag en een dunne filmthermometerlaag. De thermische weerstandslaag van de transducer met piëzo-schijven maakt meestal gebruik van PZT-materiaal met een kleine thermische geleidbaarheid, zodat de thermometers aan beide zijden een grote t kunnen verkrijgen.