تتكون مقاييس تدفق الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية عمومًا من طبقة مقاومة حرارية وطبقة ميزان حرارة بغشاء رقيق. عادة ما تستخدم طبقة المقاومة الحرارية لمحول الطاقة للأقراص الانضغاطية مادة PZT ذات موصلية حرارية صغيرة بحيث يمكن لمقاييس الحرارة الموجودة على كلا الجانبين الحصول على قدر كبير من الحرارة