فلومترهای لایه نازک با دمای بالا معمولاً از یک لایه مقاومت حرارتی و یک لایه ترمومتر فیلم نازک تشکیل شده اند. لایه مقاومت حرارتی مبدل دیسکهای پیزو معمولاً از مواد PZT با رسانایی حرارتی کوچک استفاده میکند به طوری که دماسنجها در هر دو طرف میتوانند تی بزرگی به دست آورند.