Wysokotemperaturowe przepływomierze cienkowarstwowe składają się zazwyczaj z warstwy oporowej termicznej i cienkowarstwowej warstwy termometru. Warstwa oporu cieplnego przetwornika z dyskami piezoelektrycznymi zwykle wykorzystuje materiał PZT o małej przewodności cieplnej, dzięki czemu termometry umieszczone po obu stronach mogą uzyskać duże t