Высокотэмпературныя тонкаплёнкавыя расходомеры звычайна складаюцца з пласта тэрмічнага супраціву і пласта тонкаплёнкавага тэрмометра. Пласт тэрмічнага супраціву п'езадыскавага пераўтваральніка звычайна выкарыстоўвае матэрыял PZT з невялікай цеплаправоднасцю, так што тэрмометры з абодвух бакоў могуць атрымаць вялікую тэмпературу