دماسنج لایه نازک دمای بالا شامل یک ترموکوپل لایه نازک و یک آشکارساز دمای مقاومتی (RTD) می باشد. ترموکوپل های لایه نازک را می توان در دمای 1000 درجه سانتی گراد استفاده کرد، اما ترموکوپل ها به دلیل اکسیداسیون ژرمانیوم در لایه نازک جابجا می شوند. یک لایه محافظ آلومینا