يشتمل مقياس الحرارة ذو الأغشية الرقيقة ذو درجة الحرارة العالية على مزدوج حراري للأغشية الرقيقة وكاشف درجة حرارة المقاومة (RTD). يمكن استخدام المزدوجات الحرارية ذات الأغشية الرقيقة عند درجة حرارة 1000 درجة مئوية، لكن المزدوجات الحرارية تنجرف بسبب أكسدة الجرمانيوم في الطبقة الرقيقة. طبقة حماية من الألومينا