Høytemperatur tynnfilm termisk flowmålersensor

Høytemperatur tynnfilmstrømningsmålere består vanligvis av et termisk motstandslag og et tynnfilmtermometerlag. Det termiske motstandslaget av piezos discs transducer bruker vanligvis PZT-materiale med en liten varmeledningsevne slik at termometrene er på begge sider kan oppnå en stor temperaturforskjell, og dermed oppnå et sterkere signal og en høyere følsomhet. Tynnfilmtermometerlaget er typisk et tynnfilmtermoelement eller en motstandstemperaturtransduser. Polyimid har høy termisk motstand og gode mekaniske egenskaper. Tynnfilms termisk strømningsmåler som et termisk motstandslag kan brukes under 400°C. Silika av piezoelektrisk effektsensor har lav varmeledningsevne og gode mekaniske egenskaper. Derfor, som materialet i det termiske motstandslaget til de fleste høytemperatur tynnfilm termiske strømningsmålere, kan denne termiske strømningsmåleren brukes ved en temperatur på 900 °C. Høytemperatur tynnfilmstrømningsmålere kan bruke forløper av keramiske materialer som RTD og termiske motstandslag. Precursor piezo keramikk har høytemperatur termisk strømningsmåler for luftmotormiljø ble produsert med en SiN på 250 μm i det midtre termiske barrierelaget. Den termiske strømningsmåleren kan brukes ved temperaturer rundt 1 400 °C.

Multifunksjonelle integrerte tynnfilmsensorer er integrert med høytemperatur tynnfilmstøyning piezoelektrisk rørtransduser , termometre og termiske strømningsmålere. Det er utfordrende fordi de tre sensorene har forskjellige sanseprinsipper, forskjellige strukturer og forskjellige størrelser. En multifunksjonell integrert tynnfilmsensor ble designet for samtidig å måle tøyning, temperatur og varmestrøm, hvor Pt strekkmåler måler Pt-13Rh/Pt. termoelement måler temperatur, 2 lag med forskjellig tykkelse av alumina termisk motstandslag og 40 par Pt En termisk strømningsmåler av termopiltype består av et -13Rh/Pt termoelement.som måler varmefluksen. For å bryte arbeidstemperaturen til legeringsmaterialer har NASA videreutviklet en multifunksjons integrert tynnfilmsensor for TaN piezokeramiske materialer.

De piezoelektrisk platesensor bruker en løfteprosess for å mønstre en tøyningsfaktor på 3,9, TCR på -93 × 10-6 ℃ -1, resistivitet på 259 μΩcm, en tilsynelatende tøyningsfølsomhet på -24 × 10-6 ℃ -1. TCR for piezokeramiske materialer og legeringer er negativ, NASA har utviklet multifunksjonelle høytemperatur tynnfilmsensorer for piezokeramikk. Disse piezoelektriske ringer inkluderer høytemperatur tynnfilmstøyningsmålere, høytemperatur tynnfilm termoelementer og høytemperatur tynnfilm termiske strømningsmålere. TCR for Pd-13Cr er positiv. De to sammen utgjør et funksjonelt lag som gjør TCR positiv og negativ forskyvning til en del, piezoelektriske materialer piezorørtransduser r reduserer den totale TCR, og øker dermed følsomheten. Den multifunksjonelle tynnfilmsensoren har problemer med avskalling og diffusjon, kompatibilitetsproblemer med peelingsprosessen og problemer med utvidelse av høy temperatur.