Sensor meter aliran haba filem nipis suhu tinggi

Meter alir filem nipis suhu tinggi biasanya terdiri daripada lapisan rintangan haba dan lapisan termometer filem nipis. Lapisan rintangan haba bagi transduser cakera piezos biasanya menggunakan bahan PZT dengan kekonduksian terma yang kecil supaya termometer berada di kedua-dua belah pihak boleh memperoleh perbezaan suhu yang besar, seterusnya memperoleh isyarat yang lebih kuat dan kepekaan yang lebih tinggi. Lapisan termometer filem nipis biasanya merupakan termokopel filem nipis atau transduser suhu rintangan. Polimida mempunyai rintangan haba yang tinggi dan sifat mekanikal yang baik. Meter aliran haba filem nipis sebagai lapisan rintangan haba boleh digunakan di bawah 400°C. Silika daripada sensor kesan piezoelektrik mempunyai kekonduksian terma yang rendah dan sifat mekanikal yang baik. Oleh itu, sebagai bahan lapisan rintangan haba kebanyakan meter aliran haba filem nipis suhu tinggi, meter aliran haba ini boleh digunakan pada suhu 900 °C. Meter aliran filem nipis suhu tinggi boleh menggunakan bahan seramik prekursor sebagai RTD dan lapisan rintangan haba. Seramik piezo prekursor mempunyai meter aliran terma suhu tinggi untuk persekitaran enjin aero telah direka dengan SiN sebanyak 250 μm dalam lapisan penghalang haba tengah. Meter aliran haba boleh digunakan pada suhu sekitar 1 400 °C.

Penderia filem nipis bersepadu berbilang fungsi disepadukan dengan ketegangan filem nipis suhu tinggi transduser tiub piezoelektrik , termometer dan meter aliran haba. Ia mencabar kerana ketiga-tiga penderia mempunyai prinsip penderiaan yang berbeza, struktur yang berbeza dan saiz yang berbeza. Penderia filem nipis bersepadu pelbagai fungsi telah direka untuk mengukur terikan, suhu dan aliran haba secara serentak, di mana tolok terikan Pt mengukur Pt-13Rh/Pt. termokopel mengukur suhu, 2 lapisan ketebalan berbeza lapisan rintangan haba alumina dan 40 pasang Pt Meter alir haba jenis termopile terdiri daripada termokopel -13Rh/Pt.yang mengukur fluks haba. Untuk memecahkan suhu kerja bahan aloi, NASA telah membangunkan lagi penderia filem nipis bersepadu pelbagai fungsi untuk bahan seramik TaN piezo.

The penderia plat piezoelektrik menggunakan proses angkat untuk mencorak faktor terikan 3.9, TCR -93 × 10-6 ℃ -1, kerintangan 259 μΩcm, kepekaan terikan ketara -24 × 10-6 ℃ -1. TCR bahan dan aloi seramik piezo adalah negatif, NASA telah membangunkan penderia filem nipis suhu tinggi berbilang fungsi untuk seramik piezo. Ini transduser gelang piezoelektrik termasuk tolok terikan filem nipis suhu tinggi, termokopel filem nipis suhu tinggi dan meter aliran haba filem nipis suhu tinggi. TCR Pd-13Cr adalah positif. Kedua-duanya bersama-sama membentuk lapisan berfungsi yang menjadikan TCR positif dan negatif mengimbangi sebahagian, bahan piezoelektrik tiub piezo transduksi r mengurangkan keseluruhan TCR, dengan itu meningkatkan sensitiviti. Penderia filem nipis berbilang fungsi mempunyai masalah spalling dan resapan, isu keserasian proses pengelupasan dan masalah pengembangan suhu tinggi.