Braiteoir sreamhmhéadar teirmeach scannán tanaí teocht ard

Go ginearálta is éard atá i sreabhadhmhéadair scannáin tanaí ardteochta ná ciseal friotaíochta teirmeach agus ciseal teirmiméadar scannáin tanaí. An ciseal friotaíochta teirmeach de Is gnách go n-úsáideann trasducer diosca piezos ábhar PZT le seoltacht teirmeach beag ionas go mbeidh na teirmiméadair ar an dá thaobh in ann difríocht mhór teochta a fháil, rud a fhágann go bhfaighidh siad comhartha níos láidre agus íogaireacht níos airde. De ghnáth is teirmeachúpla scannán tanaí nó trasducer teocht friotaíochta é an ciseal teirmiméadar scannán tanaí. Tá friotaíocht ard teirmeach ag polyimide agus dea-airíonna meicniúla. Is féidir an sreabhmhéadar teirmeach scannán tanaí mar chiseal friotaíochta teirmeach a úsáid faoi bhun 400 ° C. shilice de ag braiteoir éifeacht piezoelectric . Tá seoltacht íseal teirmeach agus dea-airíonna meicniúla Mar sin, mar ábhar na ciseal friotaíochta teirmeach den chuid is mó de mhéadair sreabhadh teirmeach scannáin tanaí ardteochta, is féidir an méadar sreabhadh teirmeach seo a úsáid ag teocht 900 ° C. Is féidir le méadar sreabhadh scannáin tanaí teocht ard ábhair ceirmeacha réamhtheachtaithe a úsáid mar RTD agus sraitheanna friotaíochta teirmeach. Tá méadar sreabhadh teirmeach ardteochta ag criadóireacht piezo réamhtheachtaithe le haghaidh timpeallacht aer-inneall le SiN de 250 μm sa chiseal bacainn teirmeach lár. Is féidir an sreabhmhéadar teirmeach a úsáid ag na teochtaí timpeall 1 400 °C.

Comhtháthaítear braiteoirí scannáin tanaí comhtháite ilfheidhmeacha le brú ardteochta scannáin tanaí trasducer feadán piezoelectric , teirmiméadair, agus méadar sreabhadh teirmeach. Tá sé dúshlánach toisc go bhfuil prionsabail braite éagsúla, struchtúir éagsúla, agus méideanna éagsúla ag na trí braiteoir. Dearadh braiteoir scannán tanaí comhtháite ilfheidhmeach chun brú, teocht agus sreabhadh teasa a thomhas ag an am céanna, áit a ndéanann Pt strain gage Pt-13Rh/Pt. tomhaiseann teirmeachúpla teocht, 2 shraith de thiús éagsúla ciseal friotaíochta teirmeach alúmana agus 40 péire de Pt Tá sreabhmhéadar teirmeach de chineál teirmeach comhdhéanta de teirmeachúpla -13Rh/Pt. a thomhaiseann an flosc teasa. D'fhonn teocht oibre na n-ábhar cóimhiotail a bhriseadh, tá tuilleadh forbartha ag NASA braiteoir scannán tanaí comhtháite ilfheidhm d'ábhair ceirmeacha TaN piezo.

Tá an Úsáideann braiteoir pláta piezoelectric próiseas ardaitheoir chun patrún a dhéanamh ar fhachtóir brú de 3.9, TCR de -93 × 10-6 ℃ -1, friotachas 259 μΩcm, íogaireacht dealraitheach brú de -24 × 10-6 ℃ -1. Tá an TCR d'ábhair agus cóimhiotail piezo ceirmeacha diúltach, tá braiteoirí scannáin tanaí ardteochta ilfheidhmeacha forbartha ag NASA le haghaidh criadóireacht piezo. iad seo Áirítear le trasducer fáinní piezoelectric tomhasairí brú ardteochta scannán tanaí, teirmeachúplaí ardteochta scannáin tanaí, agus sreabhmhéadair teirmeach scannáin tanaí ardteochta. Tá an TCR de Pd-13Cr dearfach. Is éard atá sa dá cheann le chéile ciseal feidhmiúil a dhéanann an TCR dearfach agus diúltach cuid a fhritháireamh, Tá ábhair piezoelectric feadán piezo transduce r ag laghdú an TCR iomlán, rud a mhéadaíonn an íogaireacht. Tá fadhbanna ag an braiteoir scannán tanaí ilfheidhmeach maidir le spalling agus idirleathadh, saincheisteanna comhoiriúnachta an phróisis feannadh, agus fadhbanna leathnaithe ardteochta.