純粋な酸化物の実験分析

原料としての純粋な酸化物の実験分析: Pb3 O4、TiO2、ZrO2、ZnO、Nb2O5、M nO2、Sb2 O3。式 x Pb O3- y PbO3 - z PbTiO3 -, Pb ZrO3 + rM n によると、ここで は 0.10 ～ 0.20、y = 0.020 ～ 0.040、z = 0.4 ～ 0.5、r (Mn) のドーピング量は 0.1%、0.2%、0.4%、 0.8% 圧電バイモルフディスクの 材料の重量を量りました。秤量した混合酸化物をメノウジャーとメノウボール上で６時間ボールミル粉砕し、次いでふるいにかけて乾燥させ、４０ＭＰａでプリフォームした。予備焼成温度は８００〜８５０℃で、予備焼成は２時間である。仮焼したもの ピエゾトランスデューサーディスクは 二次フライス加工のために研削されました。乾燥粉末をペレット化し、１２０ＭＰａの圧力下で成形した。サンプルサイズは１６ｍｍ×１ｍｍであった。素地を成形した後、１２００〜１２６０℃で約１時間焼結した。焼結ピエゾディスク回路はウェーハ研削、洗浄、乾燥され、サンプルは上部電極と下部電極上にあります。サンプルの分極条件は１２０℃の分極環境下である。の分極電場 ピエゾディスクのはんだ付けは 3 kv/mm、分極は室温で48時間20分間行い、性能テスト後。真鍮ピエゾ結晶データシートの相分析はRiraku 3015 X線回折計で実行し、焼結サンプルの断面はSEMで分析した。室温での誘電率Xとtan WはDF2811デジタルブリッジで測定し、ピエゾのテスト周波数を測定した。ディスクピックアップは1kHzです。国家圧電セラミック試験基準に従ってキュリー温度を決定します。中国科学院北京音響研究所ZJ-2準静的d33テスターテストサンプル圧電定数d33を使用。圧電円筒振動子の共振周波数fr、反共振周波数fa、倍音周波数を線路伝送法により測定し、ルックアップテーブルと計算によりkpとQmを求めた。形態解析は、それぞれ異なる Mn ドーピング含有量の二次電子画像です。断面形状から、M ドープ量が増加するにつれて試料の粒径が徐々に大きくなり、ドープ量 r=0.4% のときに粒径が最も大きくなっていることがわかります。 Mn含有量が増加すると、結晶粒径は小さくなり、結晶粒分布はますます不均一になります。