prinsip pengoperasian sensor piezoelektrik

                                     prinsip pengoperasian sensor piezoelektrik

  Metode utama pembuatan keramik piezoelektrik meliputi metode sol-gel, metode hidrotermal, metode garam cair, teknologi film tebal cakram listrik piezo , keramik piezo memiliki teknologi orientasi butir, dan teknologi sintering plasma pelepasan. Namun, bubuk yang diperoleh tidak dapat digunakan untuk memantau bagian yang rumit karena berbagai kelemahannya, dan film yang disiapkan terlalu tipis untuk digunakan secara luas. transduser las ultrasonik . Lapisan elemen cakram piezo lebih tebal daripada film dan lebih mampu melakukan pemantauan online pada permukaan bagian yang kompleks, menunjukkan kinerja yang lebih baik daripada lapisan piezoceramic yang disinter.

  Semprotan plasma dapat menghasilkan lapisan setebal milimeter pada substrat yang berbeda. Penyemprotan plasma keramik piezoelektrik adalah metode di mana bubuk keramik piezoelektrik dimasukkan ke dalam pancaran plasma dan dipanaskan, dipercepat, dan transduser silinder piezo disemprotkan ke substrat untuk membentuk lapisan. Karena suhu pusat api yang tinggi pada semprotan plasma, ia dapat melelehkan banyak bahan tahan api. oleh karena itu sangat cocok untuk pembuatan pelapis keramik piezo. Penelitian dasar tentang teknologi penyemprotan piezo-listrik dimulai pada akhir abad ke-20. Hal ini dianggap sebagai cacat umum pada lapisan keramik piezoelektrik, seperti porositas tinggi dan komponen bola keramik piezo , dapat diselesaikan dengan mengoptimalkan parameter proses.

  Melalui optimalisasi dan peningkatan proses aslinya, keramik piezo PZT berhasil dibuat dengan teknologi penyemprotan plasma dan kinerja piezoelektriknya ditingkatkan. Lapisan PZT keramik berkinerja tinggi yang dibuat dengan penyemprotan plasma telah menarik banyak minat para sarjana baik di dalam maupun luar negeri, dan telah melakukan banyak penelitian mendalam untuk transduser pembersih ultrasonik . Pelapis BaTiO3 dan (Ba,Sr) TiO3 yang dibuat dengan penyemprotan api memiliki sifat mekanik dan piezoelektrik yang baik; pelapis BaTiO3 yang dibuat dengan teknologi penyemprotan plasma adalah pelapis fase tetragonal kristalin tidak lengkap dengan struktur mikro pipih. Walaupun terdapat retakan atau pori-pori, namun tetap memiliki sifat piezoelektrik yang baik.