pietsosähköisen anturin toimintaperiaate

                                     pietsosähköisen anturin toimintaperiaate

  Tärkeimmät pietsosähköisen keramiikan valmistusmenetelmät sisältävät sooli-geelimenetelmän, hydrotermisen menetelmän, sulan suolan menetelmän, pietsosähköinen levypaksukalvotekniikka, pietsokeramiikassa on rakeiden suuntaustekniikka ja purkausplasmasintraustekniikka. Saatua jauhetta ei kuitenkaan voida käyttää monimutkaisten osien valvontaan useiden haittojen vuoksi, ja valmistettu kalvo on liian ohut käytettäväksi laajasti ultraäänihitsausanturi . Pietsolevyelementin pinnoite on paksumpi kuin kalvo ja pystyy paremmin suorittamaan monimutkaisen osan pinnan online-valvonnan, mikä on parempi suorituskyky kuin sintrattu pietsokeraaminen kerros.

  Plasmasuihkeella voidaan tuottaa millimetrin paksuisia pinnoitteita erilaisille alustoille. Pietsosähköinen keraaminen plasmaruiskutus on menetelmä, jossa pietsosähköistä keraamista jauhetta syötetään plasmasuihkuun ja kuumennetaan, kiihdytetään ja pietsosylinterinen anturi ruiskutetaan alustalle pinnoitteen muodostamiseksi. Plasmasuihkun korkean liekin keskilämpötilan vuoksi se voi sulattaa monia tulenkestäviä materiaaleja. soveltuu siksi erityisen hyvin pietsokeramisten pinnoitteiden valmistukseen. Pietsosähköisen ruiskutustekniikan perustutkimus alkoi 1900-luvun lopulla. Katsotaan, että pietsosähköisten keraamisten pinnoitteiden yleiset viat, kuten korkea huokoisuus ja Pietsokeraamiset pallokomponentit voidaan ratkaista optimoimalla prosessiparametreja.

  Alkuperäisen prosessin optimoinnin ja parantamisen ansiosta PZT-pietsokeramiikka valmistettiin onnistuneesti plasmaruiskutustekniikalla ja sen pietsosähköistä suorituskykyä parannettiin. Plasmasumutuksella valmistettu korkean suorituskyvyn keraaminen PZT-pinnoite on herättänyt paljon tutkijoiden kiinnostusta sekä kotimaassa että ulkomailla, ja se on tehnyt suuren määrän perusteellisia tutkimuksia ultraäänipuhdistusanturi . Liekkiruiskutuksella valmistetuilla BaTiO3- ja (Ba,Sr)TiO3-pinnoitteilla on hyvät mekaaniset ja pietsosähköiset ominaisuudet; plasmaruiskutustekniikalla valmistetut BaTiO3-pinnoitteet ovat epätäydellisesti kiteisiä tetragonaalifaasipinnoitteita, joissa on lamellaarinen mikrorakenne. Vaikka siinä on halkeamia tai huokosia, siinä on silti hyvä pietsosähköisyys.