مبدأ تشغيل المستشعر الكهرضغطي

                                     مبدأ تشغيل المستشعر الكهرضغطي

  تشمل الطرق الرئيسية لتحضير السيراميك الكهروضغطي طريقة سول-جل، والطريقة الحرارية المائية، وطريقة الملح المنصهر، تكنولوجيا الأفلام السميكة للقرص الكهربائي الضغطي ، والسيراميك الضغطي لديه تكنولوجيا توجيه الحبوب، وتكنولوجيا تلبيد البلازما التفريغ. ومع ذلك، لا يمكن تطبيق المسحوق الذي تم الحصول عليه على مراقبة الأجزاء المعقدة بسبب عيوب مختلفة، والفيلم المحضر رقيق جدًا بحيث لا يمكن استخدامه على نطاق واسع محول اللحام بالموجات فوق الصوتية . طلاء عنصر القرص الانضغاطي أكثر سمكًا من الفيلم وهو أكثر قدرة على إجراء مراقبة عبر الإنترنت لسطح الجزء المعقد، مما يظهر أداء أفضل من طبقة السيراميك الانضغاطي الملبدة.

  يمكن أن ينتج رذاذ البلازما طبقات بسماكة ملليمتر على ركائز مختلفة. رش البلازما الخزفية الكهرضغطية هي طريقة يتم فيها تغذية مسحوق السيراميك الكهرضغطي إلى طائرة بلازما ويتم رش محول الطاقة الأسطواني الانضغاطي المسخن والمتسارع على الركيزة لتشكيل طبقة. بسبب ارتفاع درجة حرارة مركز اللهب لرذاذ البلازما، فإنه يمكن أن يذيب العديد من المواد المقاومة للحرارة. وبالتالي فهو مناسب بشكل خاص لتحضير الطلاءات الخزفية الانضغاطية. بدأت الأبحاث الأساسية حول تكنولوجيا رش الكهرباء الانضغاطية في نهاية القرن العشرين. ويعتبر أن العيوب الشائعة للطلاءات السيراميكية الكهرضغطية، مثل المسامية العالية و الكرة الخزفية الانضغاطية عن طريق تحسين معلمات العملية. يمكن حل مكونات

  من خلال تحسين العملية الأصلية وتحسينها، تم تحضير السيراميك الانضغاطي PZT بنجاح بواسطة تقنية رش البلازما وتم تحسين أدائه الكهرضغطي. لقد اجتذب طلاء PZT الخزفي عالي الأداء المحضر عن طريق رش البلازما قدرًا كبيرًا من اهتمام العلماء في الداخل والخارج، وأجرى عددًا كبيرًا من الدراسات المتعمقة محول التنظيف بالموجات فوق الصوتية . تتميز الطلاءات BaTiO3 و(Ba,Sr) TiO3 المحضرة عن طريق الرش باللهب بخصائص ميكانيكية وكهرضغطية جيدة؛ إن طلاءات BaTiO3 المحضرة بواسطة تقنية رش البلازما عبارة عن طلاءات طور رباعي بلورية غير كاملة مع بنية مجهرية صفائحية. على الرغم من أنها تحتوي على شقوق أو مسام، إلا أنها لا تزال تتمتع بكهرباء ضغطية جيدة.