圧電センサーの動作原理
圧電セラミックスの主な製造方法には、ゾルゲル法、水熱法、溶融塩法、 ピエゾ電気ディスク 厚膜技術、ピエゾセラミックには結晶配向技術、放電プラズマ焼結技術があります。しかし、得られた粉末はさまざまな欠点があるため、複雑な部品のモニタリングには適用できません。また、調製されたフィルムは薄すぎるため、広く使用することはできません。 超音波溶接トランスデューサ 圧電ディスク. 要素のコーティングはフィルムよりも厚く、複雑な部品表面のオンライン監視をより適切に実行でき、焼結圧電セラミック層よりも優れた性能を示します。
プラズマ スプレーは、さまざまな基材上に数ミリメートルの厚さのコーティングを生成できます。圧電セラミックプラズマ溶射は、圧電セラミック粉末をプラズマジェットに供給し、加熱・加速させて圧電シリンダー振動子を基板に吹き付けて被膜を形成する方法です。プラズマ スプレーの火炎中心温度は高いため、多くの耐火性材料を溶かす可能性があります。したがって、圧電セラミックコーティングの調製に特に適しています。圧電溶射技術の基礎研究は 20 世紀末に始まりました。高い気孔率や高い気孔率などの圧電セラミックコーティングの一般的な欠陥は、 圧電セラミック球 コンポーネントの問題は、プロセス パラメーターを最適化することで解決できます。
独自のプロセスの最適化と改善により、プラズマ溶射技術による PZT 圧電セラミックスの作製に成功し、その圧電性能が向上しました。プラズマ溶射によって作製された高性能セラミック PZT コーティングは、国内外の学者の大きな関心を集めており、多くの詳細な研究が行われてきました。 超音波洗浄トランスデューサー。火炎溶射によって調製された BaTiO3 および (Ba,Sr) TiO3 コーティングは、良好な機械的特性と圧電特性を備えています。プラズマ溶射技術によって調製された BaTiO3 コーティングは、層状の微細構造を持つ不完全な結晶質の正方晶相コーティングです。亀裂や気孔はありますが、良好な圧電特性を持っています。