Filmele piezoelectrice sunt utilizate pe scară largă datorită performanței lor excelente. Filmele groase piezoelectrice pot fi folosite pentru a fabrica o varietate de microdispozitive, cum ar fi micropompe, motoare cu ultrasunete, rezonatoare, senzori piroelectrici cu peliculă groasă, dispozitive de acționare cu peliculă groasă, captoare de micro-energie etc.