Piezoelektriske film er meget udbredt på grund af deres fremragende ydeevne. Piezoelektriske tykfilm kan bruges til at fremstille en række mikroenheder, såsom mikropumper, ultralydsmotorer, resonatorer, pyroelektriske tykfilmssensorer, tykfilmaktuatorer, mikroenergi-pickups osv. 1. Hydroph