Piezoelektrični filmovi naširoko se koriste zbog svojih izvrsnih performansi. Piezoelektrični debeli filmovi mogu se koristiti za proizvodnju raznih mikrouređaja, kao što su mikropumpe, ultrazvučni motori, rezonatori, piroelektrični senzori debelog filma, aktuatori debelog filma, sakupljači mikro energije, itd. 1. Hydroph