Piezoelektriske filmer er mye brukt på grunn av deres utmerkede ytelse. Piezoelektriske tykke filmer kan brukes til å produsere en rekke mikroenheter, for eksempel mikropumper, ultralydmotorer, resonatorer, pyroelektriske tykkfilmsensorer, tykkfilmaktuatorer, mikroenergi-pickuper, etc. 1. Hydroph