Det er en slags laminert piezoelektrisk microdisplacer struktur.Fordi lagene av
piezo ekspansjonssensorer er elektrisk parallelle, overlagret i både forskyvning og drivkraft i serie, driftsspenningen til
piezo-plater trykksensor er proporsjonal med tykkelsen på den laminerte komponentfilmen, den tynnere sammensetningen av filmen er driftsspenning I de senere årene, med støpemetoden som dannelse av interne elektroder og utskrift av tykk film, er utviklingen av avansert teknologi monolittisk, slik at den piezoelektriske keramiske mikroen kan endre tykkelsen på spenningen på 1 mm og arbeidsspenningen er mindre enn 0 mm.
piezo keramiske skiver vibrasjonssensor er redusert til mindre enn 200 V, noe som er gunstig for miniatyrisering og masseproduksjon av enheten. Den laminerte piezoelektriske keramikken kan brukes til presisjons optisk interferometer, deformerbart speil, et biologisk mikroskoptrinn, en skanningstunnelmikroskop-trommelenhet, et slagpunktmatriseskriverhode og en presisjonsposisjonskontrollenhet. En laminert piezoelektrisk keramisk mikroforskyvningsenhet bruker en piezoelektrisk keramisk mikrodesignet av den omvendte piezoelektriske effekten av en
1Mhz piezo-skive piezoelektrisk keramikk den forskyvningsenheten er et sett med elektroniske komponenter og strukturelle komponenter i en solid state-enhet, med rask respons, høy nøyaktighet, utgangsmomentet og strømforbruket, uten fordelene med gir,
mekanisk transduser piezo-skive har blitt brukt i presisjonsmaskineri, nanoprosessering, automatisk kontroll, robotikk og andre høyteknologiske felt. For den piezoelektriske mikroforskyvningen er materialet fast, jo høyere driftsspenningen er, desto større er ikke-lineariteten til forskyvningen med spenningsendringer. For å redusere den forskjøvede arbeidsspenningen, kan lamineringsforskyvningsstrukturen brukes for c piezo. pzt aktuator .det er en laminert piezoelektrisk mikrodisplacer struktur.Som lagene i den elektriske parallellen i forskyvningen og drivkraften i serie på begge,sammensetningen av filmen er proporsjonal med tykkelsen, jo tynnere er sammensetningen, jo større er reduksjonen av driftsspenningen; forskyvning av den piezoelektriske mikroforskyvningen øker med antall lag. I de senere årene, med støpemetoden for å danne tykk film og intern elektrodeutskrift, har utviklingen av monolittisk avansert teknologi gjort at tykkelsen på den laminerte piezokeramiske sylinderens mikroforskyvningsanordning er mindre enn 0,1 mm og arbeidsspenningen V er redusert til under 2, og masseproduksjonen er lavere enn 20000. enheter. mikro-forskyvningsenhet kan brukes til presisjons optisk interferometer, deformerbart speil, biologisk mikroskop scene, skanning tunneling mikroskop fingerbøl enhet, slagpunktmatrise skriverhode, som en presisjon posisjonskontroll enhet.
