Tato sekce používá piezoelektrický keramický materiál PZT--5H, který byl polarizován pomocí metody plnění do PZT Materiál je řezán do piezoelektrické keramiky ve směru polarizace a plocha průřezu je čtvercová a šířka sloupce je 36,03 um. Piezoelektrická keramika pil