Додавши інгібітор іржі, п’єзокерамічну підкладку з оксиду алюмінію можна ефективно запобігти жовтуватості після полірування, і це не впливає на ефект полірування. Таким чином, під час високоефективного розрідження та ультрагладкого полірування п’єзокерамічних підкладок із оксиду алюмінію можна
