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オリジナルの表面 圧電ディスクセンサー 基板は純白、表面色は黄色です。可能性は 2 つあります。 1 つは、アルミナ ピエゾ セラミックの表面材質が化学腐食により黄変するため、アルミナの化学的性質が安定しており、常温では黄変が起こりにくいことです。 2つ目は、アルミナピエゾセラミックス以外の接触物が表面に残っているか、あるいはその関連物質が化学作用を起こしてセラミックス表面を覆って黄変することです。アルミナピエゾセラミック基板は遊離砥粒によって鋳鉄砥石の間に配置されているため、アルミナピエゾセラミック表面と直接的または間接的に接触する実験品にはスラリーと砥石が含まれます。
の pztディスク圧電セラミック 基板は、研削前の表面にはA1元素とO元素のみが存在します。両面研削後の表面にはC元素とFe元素が増加します。 Ｃ元素はダイヤモンド砥粒に由来すると考えられ、室温で安定で化学作用を起こしにくい元素である。 Ｆｅ元素は、アルミナ圧電セラミック基板自体に含まれる元素ではなく、圧電セラミック基板との接触に起因して生じるものである。両面研削システムの概略図であり、上下の研削用ピエゾディスクは鋳鉄製、スターホイールケージは青鋼製です。前節の分析から、研磨剤はアルミナの表面に影響を及ぼさないことがわかります。 ピエゾ素子振動センサー。したがって、鉄の汚染源は研磨剤とは関係なく、鋳鉄製の研削ディスクまたは青鋼製ホイール ケージから発生します。スターホイールケージと研削ディスクの間の実際のギャップは比較的大きいため、ギャップ間の研磨粒子は圧力に耐えず、スラリーの流れによってスターホイールケージの表面に機械的な影響を与えるだけです。
機械的動作により、スターホイールの表面の微小な粉砕によって引き起こされる鉄汚染はほとんどありません。鋳鉄研削ディスクとセラミック基板の間の砥粒が圧力に耐え、研削液の流れによって鋳鉄研削ディスクの表面に機械的な微小破砕を引き起こします。したがって、鉄汚染は主に鋳鉄研削盤表面の砥粒によって引き起こされます。このため、アルミナセラミック基板の表面が削れてしまうのが原因と考えられます。 圧電セラミック素子。基板はスターホイールケージで保持され、上下の鋳鉄砥石の間に挟まれてスター運動を行います。加工動作中、砥粒の硬度が鋳鉄よりも高いため、砥粒は鋳鉄砥石に埋め込まれます。
ピエゾセラミックの微細切削除去は、鋳鉄研削ディスク自体の微小粉砕も引き起こし、鋳鉄を研削します。ディスクの表面が除去されます。鋳鉄砥石上で除去された鉄は分散した状態でスラリー中に抜け出し、スラリーの流れはアルミナセラミック基板の表面に移動し、空気中や水中の酸素をゆっくりと酸化させます。酸化鉄を吸着して表面を覆う 圧電リング結晶 表面、そのため、圧電セラミック表面はその中で黄色がかって見えます。方程式は鉄の化学作用に関係しています。アルミナ圧電セラミックは多結晶材料であるため、結晶間に小さな細孔があり、酸化鉄のイオン直径は細孔よりもはるかに小さいため、洗浄が困難です。
