圧電セラミック素子基板の表面変色の原因(1)

    高能率薄化と超平滑研磨の実験 アルミナピエゾセラミック 基板の加工方法、研磨剤、加工パラメータについて検討を行いました。加工実験を通じて影響因子のメカニズムをさらに研究し、加工パラメータをさらに決定し、最適化しました。特定の加工環境下でのアルミナピエゾセラミック基板の現象面を検出し、分析しました。加工中の関連材料の特性と組み合わせて、アルミナピエゾセラミック基板の根本原因を分析します。この解決策をプロセステストの方法によって検証し,アルミナセラミック基板上の3つのスキームのメカニズムを分析した。

アルミナ 音響円筒圧電管の 基板表面は、W14ダイヤモンド、炭化ホウ素、炭化ケイ素、アルミナを使用した両面研削プロセスで黄変現象が発生します。4つの研磨剤が同じプロセスパラメータで元のアルミナセラミック基板を研削します。アルミナピエゾセラミック基板の表面に対する研磨剤の種類の影響を研究したところ、4つの研磨剤すべてがアルミナピエゾセラミックを効果的に加工できることがわかりました。研磨硬度を備えたアルミナセラミック基板の基板、材料除去率および表面粗さ。砥粒の硬度が大きくなります。 

同じ圧力条件が鋳鉄砥石の表面に埋め込まれやすくなり、ワークに耕起効果が発生します。したがって、ダイヤモンド砥粒の研削後のワーク除去率が最も大きく、アルミナピエゾは研削後に研削される。ワーク材質は最小限です。しかしながら、研磨されたアルミナ圧電セラミック基板の超音波洗浄後、アルミナセラミック基板の表面は異なる程度の黄ばみを示し、アルミナ砥粒を研磨した後は加工物の表面が黄色くなり、ダイヤモンド砥粒を研削した後は加工物の表面の色がより黄色くなる。 pzt-5a 圧電セラミックシリンダーチューブ部品の研削後の材料除去率は研磨材の硬さとともに低下するため、表面色の程度は研磨材の硬さとともに低下します。したがって、材料の除去速度は、表面の色の黄変に直接的または間接的に影響を与える可能性があります。