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現在、圧電セラミックスは、その高い硬度、強度、優れた耐食性、絶縁性により、エレクトロニクス、化学、軍事などの分野で広く使用されています。圧電セラミックスと原材料の組成は性能を決定する重要な要素であるため、高性能セラミックスを製造するには、セラミックスと原材料の含有量をリアルタイムで検出して制御することが非常に重要です。従来の圧電セラミック
分析方法は、手順が複雑で時間がかかるため、迅速な検出の要件を満たすことができません。この論文では、レーザープローブ技術を使用して、高速、リアルタイム、多元素の特性により、酸化アルミニウムセラミックスとその原材料の組成を分析しました。
自社開発のレーザープローブ装置を用いて、酸化アルミニウムセラミックスの組成を定性分析しました。メインは8種類 高密度集束ピエゾ とその特徴的なスペクトル線が大気中で特定され、実験パラメータが最適化されました。結果は、サンプル表面の下でより良いS/N比を備えたプラズマ信号が得られ、3 mmの焦点ぼけ距離、時間遅延、およびアルゴン中の1500 Paの圧力でパルスエネルギーが得られることを示しています。
さらに、レーザーと酸化アルミニウムセラミックスの相互作用中に、Al2O フリーラジカル分子の微細なスペクトルが見られます。その形と進化 pzt 5a 材料のピエゾセラミック による時間遅延とエネルギーの原因について議論し、レーザープローブによる他の分子スペクトル線の参照を提供します。
最後に原料のMg、K、Ca、Fe、Na、Tiのピエゾ素子 超音波有線セラミックディスクは、 内部校正法に基づいてレーザープローブによって定量分析されました。結果は、検量線のすべての線形依存係数が 0.94mm に達することを示しています。さらに、スペクトル強度、安定性および線形相関は、標準サンプルを加熱した後の検量線の係数であり、すべてある程度改良された技術です。重要なのは、レーザープローブは EDXRF (エネルギー分散型蛍光 X 線) と同等の分析レベルを持っていますが、化学分析法には劣ります。特に、主要なセラミック元素である Mg、K、Ca については、EDXRF よりもレーザープローブの検出精度が優れています。
レーザープローブ技術、レーザー誘起破壊分光法（レーザー誘起破壊分光法、LIES 技術は、電子プローブ分析装置と原理に多くの類似点があることから名付けられました。基本原理は高密度です。 圧電材料音響ピエゾメータ は、検体の励起、プラズマの生成、分光計のプラズマ化に使用されます。体内の原子およびイオンのエネルギー遷移特性スペクトルが分析され、各ピエゾ素子の種類と含有量の分析方法が得られます。1962 年に、Brech は、気体、液体、固体中の元素含有量を測定するためのレーザープローブの可能性を初めて報告し、その後数十年間、この技術は実用化されてきました。新しいタイプの測定法として注目されています。
