多成分圧電セラミックス材料
BaTiO3 中の Ba と Ti を置換して、等価イオンと非等価イオンの置換、および微量不純物と酸化物の添加方法に基づいて Zr/Ti 比を制御することにより、 超音波洗浄用ピエゾ振動子の 開発に成功。 BaTiO3圧電セラミックス材料とチタン酸ジルコン酸鉛、すなわちPZT圧電セラミックスです。 Pb(ZrxTi1-x)O3系の超音波プレートトランスデューサ と正方晶系強誘電体相。三相強誘電体相が共存します。相境界付近では、チタンイオン濃度の増加に伴い、自発分極方向の向きが変化します。 リング圧電部品。この工程では結晶構造が不安定になるため、電気活性と圧電性能が大幅に向上し、圧電定数はBaTiO3の2倍となり、 ピエゾセラミックリングクリスタルは あらゆる面でチタン酸バリウムピエゾセラミックよりもはるかに優れています。 PZT系セラミックスは今後の発展が期待される機能性材料です。圧電セラミックスの応用における新たな状況は、さまざまな元素を含むチタン酸ジルコン酸鉛に基づいています。
改良された三元および四元圧電セラミックストランスデューサも登場します。複数要素の圧電セラミックは単一の圧電セラミックを補うことができ、包括的な圧電特性、誘電特性、機械特性という利点を備えています。もっと、多数の 圧電板結晶はまた、強誘電体 PZT セラミックスにさまざまな緩和を組み合わせること、およびこの系の圧電セラミックスのイオン交換およびドーピング修飾によって、圧電板振動センサーがより高い誘電特性と圧電特性を得ることができることも示しています。三元系に基づいて、特殊用途の四元系などの多目的圧電セラミック材料が開発されており、圧電プレートセンサーは圧電セラミックスの研究をより有望なものにしています。