アルミナピエゾセラミック表面の黄ばみの根本原因

アルミナの後 ピエゾセラミック 基板はさまざまな研磨剤で研磨されており、表面の黄ばみの程度は異なります。このセクションでは、EDS スペクトルを使用して、アルミナ ピエゾ セラミック基板の表面の前後のピエゾ素子の種類を検出し、次に、ピエゾ セラミック基板の可能な表面を調査します。他の成分は、アルミナピエゾセラミック基板表面の黄変の根本原因を分析します。オリジナルのアルミナピエゾセラミック基板の表面は真っ白で、表面の色は黄色くなっています。考えられることは 2 つあります。1 つは、アルミナピエゾセラミックの表面材が化学腐食により黄変するため、アルミナの化学的性質が安定しており、常温では黄変が起こりにくいことです。 ２つ目は、アルミナセラミックス以外の接点材が表面に残留したり、アルミナセラミックス以外の接点材が化学的に作用してセラミックス表面を覆って黄変したりするものである。アルミナなので 圧電セラミック材料 基板は鋳鉄研削材と遊離研磨材の間に配置され、アルミナ圧電セラミック表面と直接または間接的に接触する実験品には研磨材と脱イオン水が含まれます。

アルミナピエゾセラミック基板は、研磨前の表面にはＡ１ピエゾ素子とＯピエゾ素子のみが存在する。両面研削後の表面にはC元素とFe元素が増加しています。 Ｃ元素は、ダイヤモンド砥粒に由来すると考えられ、室温で安定で発生しにくい元素である。Ｆｅピエゾ素子は、アルミナピエゾセラミック基板自体に含まれるピエゾ素子ではなく、ピエゾセラミック基板との接触に由来するものである。両面研削システムの概略図であり、上下の研削用ピエゾディスクは鋳鉄製、スターホイールケージは青鋼製です。前節の分析から、研磨剤はアルミナ表面の黄変に影響を及ぼさないことがわかっています。 圧電セラミック材料の圧電ディスク 基板。したがって、鉄の汚染源は研磨材とは関係がなく、鋳鉄製の研削ディスクまたは青鋼スターホイールケージから発生します。スターホイールケージと研削ディスクの間の実際のギャップは比較的大きいため、ギャップ間の研磨粒子は圧力に耐えず、スラリーの流れによってホイールケージの表面に機械的な影響を与えるだけです。機械的動作により、スターホイールの表面の微小な粉砕によって引き起こされる鉄汚染はほとんどありません。鋳鉄研削用ピエゾディスクとピエゾセラミック基板の間の砥粒が圧力に耐え、研削液の流れによって鋳鉄研削用ディスクの表面に機械的な微小破砕を引き起こします。したがって、鉄汚染は主に鋳鉄研削盤表面の砥粒によって引き起こされます。