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主応力の 2 点とその方向は、その点での音波速度によって計算でき、2 つの横波の音速はこの点で互いに直交します。違う 深さ測定用超音波トランスデューサは 前回の測定で使用されました。音波の速度と 2 つの偏光方向 500KHzの超音波振動子 を測定しました。音波の速度が直交する場合には、複数回の振動子の交換と移動が必要となる。各固定トランスデューサーを完全に同じ点に置くことはできないため、測定には誤差が生じます。1Mhzの超音波振動子が発生する可能性があり、固定のたびに結合層を完全に一致させることは不可能です。 , これも測定に誤差をもたらします。
このプローブを使用すると、固体の主応力方向の測定を、測定ごとにウェーハの垂直波-偏波-波を2つ使用して実行できます。固体中の2つの垂直せん断波の応力測定において、固体中の応力と固体の超音波音速との関係 高周波超音波トランスデューサr は 次のとおりです。 ここで、 は応力が存在する場合の縦波の音速、および応力が存在する場合の 2 つの互いに直交する横波の音速、は応力が存在しない場合の音の縦波速度と横波速度です。 , 主応力は2つあります。プローブが製造されると、 超音波深さセンサーは 互いに垂直に配置されます。このように、応力測定においては、プローブが連続的に回転している限り、互いに直交する２方向における横波の音速の差が最大となる。
このとき、２枚の横波長板の振動方向が試験サンプルの２つの主応力方向となる。互いに直交する２枚の横波長板の２つの振動方向は互いに直交する。 2つの主応力方向が一致してトランスデューサーを固定します。水中音響トランスデューサーは縦波の音波速度と2つの横波の音速度を測定し、式を使用してその点での応力を計算します。それは複合超音波トランスデューサーの構造であり、偏光方向が互いに直交する2つの横波結晶、2つの異なる縦波チップがあります。
