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の使用 超音波距離測定トランスデューサは 、固体内の応力状態を研究するものであり、超音波試験の非常に重要な方法です。これは、固体内の応力が縦波と横波の速度に関係しているためです。 超音波トランスデューサは 、この測定において非常に重要な部分です。結果の精度が重要な役割を果たします。応力測定を目的として、周波数の異なる2つの縦波と偏波方向が直交する2つの横波からなる複合超音波プローブを開発しました。
限り、 超音波距離センサー は、固体表面上の特定の点での音波速度を測定するために使用され、2つの横波の音速がその点で互いに垂直である場合、その点での2つの主応力とその方向を計算できます。違う 長距離距離測定センサーが使用されました。 前回の測定では縦波の音波の速度や2つの偏波方向の直交度を測定する場合、プローブを何度も変更して移動する必要があります。
なぜなら、そのたびに、 超音波距離トランスデューサーセンサーは 同じ点に完全に固定することができないため、測定誤差が発生します。また、固定時間ごとに層を完全に一致させることは不可能であるため、測定にも誤差が生じます。この 2 Mhz 超音波センサーについては、各測定に必要な測定は 1 回だけです。ウェーハを横切る 2 つの相互に直交する分極方向を利用することができ、固体の主応力方向で決定され、固体を 2 つの垂直せん断で同時に測定できます。
