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10 年後の超音波トランスデューサーはこうなる (一)

ビュー: 3     著者: サイト編集者 公開時刻: 2017-11-01 起源: サイト

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10 年後の超音波トランスデューサーはこうなる (一)


こうやって 超音波トランスデューサーは 10 年後にはこうなる (一)


基本的な超音波トランスデューサは一般にフラットプローブまたはストレートプローブとして知られており、その構造には、圧電チップ、保護膜の機能、高速吸収などの多くの機能が含まれており、超音波を送信および受信します。 距離測定トランスデューサー 波。保護フィルムの機能は、ワークピースとの直接接触を避け、ウェーハを摩耗させることです。しかし、音の伝達性能を向上させるための中間媒体としても機能します。吸収材は、(1)ウエハを支持するバッキング材として、(2)ウエハ裏面へのウエハの吸収、(2)ウエハ裏面へのウエハの吸収、(3)ウエハの振動エネルギーを吸収(減衰)し、ウエハのリングタイムを短縮するという3つの機能を持っています。 超音波距離センサーを 使用すると、パルス励起によってウェーハを停止し、機械的な Q 値 (Qm) を低下させて、波形が歪まないことと解像度の要件を確保できます。


通常の斜めプローブは、 圧電水晶チップは ストレートプローブと同じであり、送信および受信に使用されます。 長距離超音波距離センサー。高速吸収の機能はストレートプローブと同じであり、吸収の機能はウェッジと同じであり、ウェハ上のウェッジの干渉を防ぎます。


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