こうやって 超音波トランスデューサーは 10 年後にはこうなる (一)
基本的な超音波トランスデューサは一般にフラットプローブまたはストレートプローブとして知られており、その構造には、圧電チップ、保護膜の機能、高速吸収などの多くの機能が含まれており、超音波を送信および受信します。 距離測定トランスデューサー 波。保護フィルムの機能は、ワークピースとの直接接触を避け、ウェーハを摩耗させることです。しかし、音の伝達性能を向上させるための中間媒体としても機能します。吸収材は、(1)ウエハを支持するバッキング材として、(2)ウエハ裏面へのウエハの吸収、(2)ウエハ裏面へのウエハの吸収、(3)ウエハの振動エネルギーを吸収(減衰)し、ウエハのリングタイムを短縮するという3つの機能を持っています。 超音波距離センサーを 使用すると、パルス励起によってウェーハを停止し、機械的な Q 値 (Qm) を低下させて、波形が歪まないことと解像度の要件を確保できます。