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かどうかを判断する 超音波洗浄トランスデューサが 良好であるかどうかは、次の点から判断できます。
超音波洗浄振動子を取り付ける際、超音波振動子を取り付ける際にウエハにクラックが発生する。圧電セラミックス自体の内部剥離など。ホーンやモールドの設計、組み立てに問題がある。同心度の違いによりストレスロッド周辺の部品が衝突する。
3. 機械的品質係数はコンダクタンス曲線法、Qm=Fs /(F2-F1) によって決定されます。Qm が高いほど振動子の効率が高くなるため、Qm は高いほど優れています。しかし、Qm は電源と一致する必要があります。Qm 値が高すぎます。電源が一致していません。例えば、掃除用振動の場合はQm値が高いほど良いです。一般的に言えば、クリーニングバイブレーターの Qm は 500 ～ 1000 に達する必要があります。低すぎると振動効率が低下します。高すぎると、電源を適合させることができません。超音波溶接または機械加工の場合、 超音波バストランスデューサ 自体。一般的には約 50 ～ 1000、システム全体では 1500 ～ 3000 です。低すぎると振動効率が低くなりますが、高すぎてもいけません。 Qm が高くなるほど動作帯域幅が狭くなるため、電源の整合が難しくなり、電源が共振して動作しにくくなります。周波数ポイント、デバイスが動作していません。
図４は、周波数１ｋＨｚにおける圧電素子の静電容量値であり、この値はデジタル静電容量計で測定した値と一致している。この値から動的コンデンサ C1 が減算され、真の静電容量 C0、C0 = CT-C1 が得られます。誘導バランスC0を使用してください。超音波洗浄機の回路設計プロセスでは、バランス C0 を正しく設定することで電源の力率を改善できます。バランス インダクタンスを使用する方法には、並列同調と直列同調の 2 つがあります。
5.反共振周波数、圧電振動子の並列分岐の共振周波数。この周波数では、圧電振動子のインピーダンスＺｍａｘが最も大きくなる。反共振インピーダンス Zmax が低いと振動子に問題が生じます。
