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圧電セラミックスは、高信頼性、高分解能、高剛性、大出力などの特徴を持ち、精密運動や位置決めに最適な駆動部品です。柔軟なヒンジの機械構造は、滑らかな動き、摩擦がなく、空戻りがなく、高精度の特性を備えています。圧電セラミックスを使用した高分解能、高周波の精密運動および位置決めシステムの形成に適しています。
同時に、柔軟なヒンジ機構は適切な予張力を提供して、圧電セラミックストリップが張力に耐えることを回避し、システムの耐用年数を向上させることもできます。以下に、圧電セラミックドライブとフレキシブルヒンジ機構トランスミッションを組み合わせた代表的な例をいくつか示します。
高精度加工
圧電マイクロ位置決め高速ナイフサーボシステムは、圧電セラミック素子、フレキシブルヒンジ機構、閉ループセンサーで構成されており、高剛性・高精度という独自の特性を活かして工具を駆動し、移動方向に高速送りし、ワークや構造物の精密加工を実現します。圧電ラピッドツール位置決めテーブルのストロークは 118 μm、分解能はナノメートルです。
高精度圧電ワイヤクランプ
自動ワイヤボンディング機の要件に従って、圧電ワイヤクランプpzt圧電プレートを設計します。これは、金ワイヤを保持して自由に移動できるように、柔軟なヒンジ機構を介して圧電セラミックの変位を増幅します。クランプの変位は 70μm に達する可能性があり、応答時間はミリ秒のオーダーです。
