Тэхналогія планетарнага запаволення можа зрабіць дакладнасць сканавання да 0,01 мм, а затым выкарыстоўваць ультрагук сярэдняга і высокага класа B і сістэму апрацоўкі п'езаэлектрычным крышталем Hifu для фарміравання частак мікрасхемы, яна накіроўвае пазіцыянаванне і мэтавую тканіну, а таксама рэалізуе эфект маніторынгу. Для першага